在硅片晶向、掺杂类型介绍中,由硅片断裂边形成的角度是60o可知硅片是什么晶向?


在硅片晶向、掺杂类型介绍中,由硅片断裂边形成的角度是60o可知硅片是什么晶向?

A.(100)

B.(111)

C.(110)

D.(211)

正确答案:(111)


Tag:微电子工艺 硅片 角度 时间:2022-03-02 17:02:54