目前刻蚀采用碱抛相比于酸刻的优势是下列哪项?


目前刻蚀采用碱抛相比于酸刻的优势是下列哪项?

A.能刻蚀背面N型硅

B.硅片背面抛光成近似镜面的结构,提高对长波的吸收;

C.能刻蚀PSG

D.能刻蚀四周N型硅

正确答案:A


Tag:背面 硅片 长波 时间:2023-02-04 14:15:35