平坦化时,先填充一层牺牲材料,再进行高处刻蚀的方法是:


平坦化时,先填充一层牺牲材料,再进行高处刻蚀的方法是:

A.反刻

B.高温回流

C.旋涂玻璃法

D.CMP

正确答案:A


Tag:高温 牺牲 玻璃 时间:2023-02-25 15:16:56