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平坦化时,先填充一层牺牲材料,再进行高处刻蚀的方法是:
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平坦化时,先填充一层牺牲材料,再进行高处刻蚀的方法是:
A.反刻
B.高温回流
C.旋涂玻璃法
D.CMP
正确答案:A
Tag:
高温
牺牲
玻璃
时间:2023-02-25 15:16:56
上一篇:
将介电材料溶解于有机溶剂中,以旋涂的方式涂抹在晶片表面,利用流态介电材料有很好的台阶填充能力,使晶片获得平坦化的技术是:
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