下列对器件尺寸参数描述正确的有（）
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下列对器件尺寸参数描述正确的有（）

A.L是器件的沟道长度，W是器件的宽度

B.tox是器件栅氧化层的厚度，由工艺决定

C.一般所说的90nm工艺，其中的90nm是指器件的最小沟道长度L

D.一般所说的90nm工艺，其中的90nm是指器件的栅氧化层的厚度tox

正确答案：L是器件的沟道长度，W是器件的宽度；tox是器件栅氧化层的厚度，由工艺决定；一般所说的90nm工艺，其中的90nm是指器件的最小沟道长度L

Tag：器件 沟道 工艺 时间：2024-01-15 20:03:12

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