硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。
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硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。

A.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工

B.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工

C.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构

D.体刻蚀加工可获得低纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较高纵横比的结构

正确答案：C

Tag：加工 衬底 结构 时间：2024-03-17 17:50:30

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