关于离子注入，以下说法错误的是：
A、离子注入不受热力学限制，能够注入任何离子
B、离子注入能够对金属和半导体的表面进行掺杂
C、离子注入能够提高金属材料的耐腐蚀性能、耐磨性能、表面硬度、润滑性能
D、离子注入深度最大能够达到100nm。
正确答案：离子注入深度最大能够达到100nm
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