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电子束光刻时利用电子束照射与光致抗蚀剂产生化学反应,是一种化学加工。
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电子束光刻时利用电子束照射与光致抗蚀剂产生化学反应,是一种化学加工。
A.正确
B.错误
正确答案:A
Tag:
电子束
光刻
化学反应
时间:2024-06-12 10:46:55
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