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以下常用来检测样品表面晶体结构的方法是（）？
XRD
EDX
SIMS
AES
正确答案：XRD
Tag：
半导体技术导论
晶体
样品
时间：2021-10-02 21:22:39
上一篇：
EDX通常是加装在SEM中配合使用的。
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业界常用SIMS作为半导体掺杂浓度分布的检测方式。
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