在VPE.MBE.SEG.LPE.SPE.UHV/CVD.MOCVD中,哪种外延方法能生长杂质陡变分布的薄外延层?


在VPE.MBE.SEG.LPE.SPE.UHV/CVD.MOCVD中,哪种外延方法能生长杂质陡变分布的薄外延层?

A.MBE

B.VPE.LPE

C.UHV/CVD

D.SEG.SPE

正确答案:MBE;UHV/CVD


Tag:微电子工艺 外延 杂质 时间:2022-03-02 17:02:57