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测试后方阻偏大，原因可能有：
A.小N2流量偏大
B.小N2流量偏小
C.扩散温度偏大
D.扩散温度偏低
E.源温偏高
F.石英管刚洗没有做TCA饱和
正确答案：ABC
Tag：
流量
温度
原因
时间：2023-02-04 14:14:05
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扩散的源瓶上有两根玻璃管，一长一短，接在阀门上还有两根PVC管，一细一粗，请问换源时怎么接管？
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扩散R□偏低，应做如下调整：（）
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