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扩散R□偏低,应做如下调整:()
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扩散R□偏低,应做如下调整:()
A.减小扩散温度
B.增大小N2流量
C.减小大N2流量
D.减小扩散时间
正确答案:AB
Tag:
流量
温度
时间
时间:2023-02-04 14:14:06
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测试后方阻偏大,原因可能有:
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扩散后硅片间方阻不均的原因是:
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