在深亚微米微光刻工艺中，如果要得到小尺寸的栅极或CD，需要的是（）
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在深亚微米微光刻工艺中，如果要得到小尺寸的栅极或CD，需要的是（）

A、亮场掩模版+正性光刻胶

B、亮场掩模版+负性光刻胶

C、暗场掩模版+正性光刻胶

D、暗场掩模版+负性光刻胶

正确答案：亮场掩模版+正性光刻胶

Tag：光刻 模版 栅极 时间：2024-05-06 21:48:57

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