在集成电路工艺中,光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是()


在集成电路工艺中,光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是()

A、淀积

B、刻蚀

C、氧化

D、光刻

正确答案:光刻


Tag:光刻 集成电路 工艺技术 时间:2024-05-24 20:23:22

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