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VPE制备n-/n+-Si用硅烷为源，硅烷是在（）完成的分解。可从下面选择：气相硅片表面n-/n+Si界面
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VPE制备n-/n+-Si用硅烷为源，硅烷是在（）完成的分解。可从下面选择：气相硅片表面n-/n+Si界面
正确答案：硅片表面
Tag：
微电子工艺
硅烷
硅片
时间：2022-03-02 17:02:58
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