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热氧化过程中杂质在SiO2/Si界面的浓度是突变的,这是由杂质()引起的。(两个字)
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热氧化过程中杂质在SiO2/Si界面的浓度是突变的,这是由杂质()引起的。(两个字)
正确答案:分凝
Tag:
微电子工艺
杂质
突变
时间:2022-03-02 17:03:01
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热氧化速率快慢排序:氧化最快、氧化次之、氧化最慢。(从“干氧、湿氧、水汽”中选择填空,中间用“、”隔开)
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扩散掺杂,扩散区要比掩膜窗口尺寸,这是()效应引起的,它直接影响超大规模集成电路的集成度。
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制作一硅晶体管芯片,在最后用热氧化方法制备了一层SiO2作为保护层。
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如果外延速率偏低,只要增大外延气体中硅源(如SiCl4)浓度,硅的气相外延速率就会增加。
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《桔梗谣》属于维吾尔族舞蹈。
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“纳孜尔库姆”是哪个地区的“赛乃姆”。
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