热氧化过程中杂质在SiO2/Si界面的浓度是突变的,这是由杂质()引起的。(两个字)


热氧化过程中杂质在SiO2/Si界面的浓度是突变的,这是由杂质()引起的。(两个字)

正确答案:分凝


Tag:微电子工艺 杂质 突变 时间:2022-03-02 17:03:01