溅射与蒸镀比较，下列那种说法正确：
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溅射与蒸镀比较，下列那种说法正确：

A.溅射工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好

B.蒸镀工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好

C.蒸镀工艺的普适性更好

D.溅射工艺的普适性更好

正确答案：溅射工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好；蒸镀工艺的普适性更好

Tag：微电子工艺 工艺 薄膜 时间：2022-03-02 17:03:10

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