形成B的超浅结掺杂（剂量为QB)时，为了避免沟道效应可否先注入锑（剂量为QSb）再注入硼？实际注入了多少硼？
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形成B的超浅结掺杂（剂量为QB)时，为了避免沟道效应可否先注入锑（剂量为QSb）再注入硼？实际注入了多少硼？

A.不可以

B.可以，实际注硼：QB+QSb

C.可以，实际注硼：QB-QSb

D.可以，实际注硼：QB

正确答案：可以，实际注硼：QB+QSb

Tag：微电子工艺 剂量 沟道 时间：2022-03-02 17:03:04

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