在p-Si中扩磷20分钟,测得结深为0.5μm,为使结深达到0.8μm,在原条件下还要扩散多长时间?


在p-Si中扩磷20分钟,测得结深为0.5μm,为使结深达到0.8μm,在原条件下还要扩散多长时间?

A.51.2min

B.31.2min

C.117min

D.104min

正确答案:31.2min


Tag:微电子工艺 条件下 时间:2022-03-02 17:03:05